Hilleringmann, Ulrich. “Metallisierung Und Kontakte.”10.1007/978-3-322-94119-0_8__Silizium-Halbleitertechnologie, Vieweg+Teubner Verlag, 2002, pp. 131–151, doi:10.1007/978-3-322-94119-0_8.
LibreCat: /record/39875
DOI: 10.1007/978-3-322-94119-0_8