@inbookHilleringmann_2002, place=Wiesbaden, title=Metallisierung und Kontakte, DOI=10.1007/978-3-322-94119-0_8, booktitle=Silizium-Halbleitertechnologie, publisher=Vieweg+Teubner Verlag, author=Hilleringmann, Ulrich, year=2002, pages=131–151