Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012.https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8 .
LibreCat: /record/39512
DOI: 10.1007/978-3-322-92766-8