Silizium-Halbleitertechnologie
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.

Ätztechnik
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.

Oxidation des Siliziums
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.