Silizium-Halbleitertechnologie
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39898
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7

Ätztechnik
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39428
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_5

Oxidation des Siliziums
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39429
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_3