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Hilleringmann U. Ätztechnik. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5
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Hilleringmann U. Oxidation des Siliziums. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3
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