Hilleringmann, U. (2018). Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 

Hilleringmann, U. (2018). Ätztechnik. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5 

Hilleringmann, U. (2018). Oxidation des Siliziums. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3