U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.

U. Hilleringmann, “Ätztechnik,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.

U. Hilleringmann, “Oxidation des Siliziums,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.