Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7.

Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.”10.1007/978-3-658-23444-7_5__Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5.

Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.”10.1007/978-3-658-23444-7_3__Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3.