Hilleringmann, U. (2018). Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 
LibreCat: /record/39898
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7

Hilleringmann, U. (2018). Ätztechnik. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5 
LibreCat: /record/39428
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_5

Hilleringmann, U. (2018). Oxidation des Siliziums. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3 
LibreCat: /record/39429
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_3