U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39898
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7

U. Hilleringmann, “Ätztechnik,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39428
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_5

U. Hilleringmann, “Oxidation des Siliziums,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
LibreCat: /record/39429
DOI: 10.1007/978-3-658-23444-7_3