@bookHilleringmann_2018, place=Wiesbaden, title=Silizium-Halbleitertechnologie, DOI=10.1007/978-3-658-23444-7, publisher=Springer Fachmedien Wiesbaden, author=Hilleringmann, Ulrich, year=2018 

@inbookHilleringmann_2018, place=Wiesbaden, title=Ätztechnik, DOI=10.1007/978-3-658-23444-7_5, booktitle=Silizium-Halbleitertechnologie, publisher=Springer Fachmedien Wiesbaden, author=Hilleringmann, Ulrich, year=2018 

@inbookHilleringmann_2018, place=Wiesbaden, title=Oxidation des Siliziums, DOI=10.1007/978-3-658-23444-7_3, booktitle=Silizium-Halbleitertechnologie, publisher=Springer Fachmedien Wiesbaden, author=Hilleringmann, Ulrich, year=2018