Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 .

Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.”https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5__In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5 .

Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.”https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3__In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3 .