@inbookHilleringmann_2014, place=Wiesbaden, title=Lithografie, DOI=10.1007/978-3-8348-2085-3_4, booktitle=Silizium-Halbleitertechnologie, publisher=Springer Fachmedien Wiesbaden, author=Hilleringmann, Ulrich, year=2014 
LibreCat: /record/39501
DOI: 10.1007/978-3-8348-2085-3_4