Hilleringmann, U. (2014). Lithografie. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden.https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4 
LibreCat: /record/39501
DOI: 10.1007/978-3-8348-2085-3_4