Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.”10.1007/978-3-8348-2085-3_4__Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014, doi:10.1007/978-3-8348-2085-3_4.
LibreCat: /record/39501
DOI: 10.1007/978-3-8348-2085-3_4