@book{39512,
  author       = {{Hilleringmann, Ulrich}},
  isbn         = {{9783519061588}},
  publisher    = {{Vieweg+Teubner Verlag}},
  title        = {{{Mikrosystemtechnik auf Silizium}}},
  doi          = {{10.1007/978-3-322-92766-8}},
  year         = {{2012}},
}