[{"citation":{"ieee":"U. Hilleringmann, <i>Mikrosystemtechnik auf Silizium</i>. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012.","mla":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag, 2012, doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>.","apa":"Hilleringmann, U. (2012). <i>Mikrosystemtechnik auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8</a>","bibtex":"@book{Hilleringmann_2012, place={Wiesbaden}, title={Mikrosystemtechnik auf Silizium}, DOI={<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>}, publisher={Vieweg+Teubner Verlag}, author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2012} }","ama":"Hilleringmann U. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag; 2012. doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>","short":"U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik Auf Silizium, Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden, 2012.","chicago":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8</a>."},"date_created":"2023-01-24T11:51:21Z","place":"Wiesbaden","department":[{"_id":"59"}],"type":"book","publication_identifier":{"isbn":["9783519061588","9783322927668"]},"author":[{"id":"20179","first_name":"Ulrich","last_name":"Hilleringmann","full_name":"Hilleringmann, Ulrich"}],"title":"Mikrosystemtechnik auf Silizium","year":"2012","status":"public","publication_status":"published","date_updated":"2023-03-21T10:18:32Z","_id":"39512","language":[{"iso":"eng"}],"publisher":"Vieweg+Teubner Verlag","user_id":"20179","doi":"10.1007/978-3-322-92766-8"}]