[{"language":[{"iso":"eng"}],"user_id":"20179","department":[{"_id":"59"}],"_id":"39512","status":"public","type":"book","doi":"10.1007/978-3-322-92766-8","title":"Mikrosystemtechnik auf Silizium","author":[{"first_name":"Ulrich","last_name":"Hilleringmann","full_name":"Hilleringmann, Ulrich","id":"20179"}],"date_created":"2023-01-24T11:51:21Z","publisher":"Vieweg+Teubner Verlag","date_updated":"2023-03-21T10:18:32Z","citation":{"chicago":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8</a>.","ieee":"U. Hilleringmann, <i>Mikrosystemtechnik auf Silizium</i>. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012.","ama":"Hilleringmann U. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag; 2012. doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>","apa":"Hilleringmann, U. (2012). <i>Mikrosystemtechnik auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8</a>","bibtex":"@book{Hilleringmann_2012, place={Wiesbaden}, title={Mikrosystemtechnik auf Silizium}, DOI={<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>}, publisher={Vieweg+Teubner Verlag}, author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2012} }","short":"U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik Auf Silizium, Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden, 2012.","mla":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Mikrosystemtechnik Auf Silizium</i>. Vieweg+Teubner Verlag, 2012, doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8\">10.1007/978-3-322-92766-8</a>."},"year":"2012","place":"Wiesbaden","publication_status":"published","publication_identifier":{"isbn":["9783519061588","9783322927668"]}}]