---
_id: '39501'
author:
- first_name: Ulrich
  full_name: Hilleringmann, Ulrich
  id: '20179'
  last_name: Hilleringmann
citation:
  ama: 'Hilleringmann U. Lithografie. In: <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer
    Fachmedien Wiesbaden; 2014. doi:<a href="https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>'
  apa: Hilleringmann, U. (2014). Lithografie. In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>.
    Springer Fachmedien Wiesbaden. <a href="https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4">https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>
  bibtex: '@inbook{Hilleringmann_2014, place={Wiesbaden}, title={Lithografie}, DOI={<a
    href="https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>},
    booktitle={Silizium-Halbleitertechnologie}, publisher={Springer Fachmedien Wiesbaden},
    author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2014} }'
  chicago: 'Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>.
    Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014. <a href="https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4">https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>.'
  ieee: 'U. Hilleringmann, “Lithografie,” in <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>,
    Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014.'
  mla: Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>,
    Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014, doi:<a href="https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>.
  short: 'U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien
    Wiesbaden, Wiesbaden, 2014.'
date_created: 2023-01-24T11:44:13Z
date_updated: 2023-03-22T10:10:23Z
department:
- _id: '59'
doi: 10.1007/978-3-8348-2085-3_4
language:
- iso: eng
place: Wiesbaden
publication: Silizium-Halbleitertechnologie
publication_identifier:
  isbn:
  - '9783834813350'
  - '9783834820853'
publication_status: published
publisher: Springer Fachmedien Wiesbaden
status: public
title: Lithografie
type: book_chapter
user_id: '20179'
year: '2014'
...