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_id: '9986'
abstract:
- lang: ger
  text: Das Ultraschall-Drahtbonden mit Aluminiumdraht ist aktuell ein Standardverfahren
    zur Kontaktierung von Leistungshalbleitermodulen. Jedoch soll die Einführung von
    Kupferdraht als Bondmaterial in der Zukunft zu zahlreichen Verbesserungen der
    Module führen. Dies ist bedingt durch die wesentlich besseren elektrischen und
    thermischen Eigenschaften von Kupfer gegenüber Aluminium, die dazu führen, dass
    z. B. eine weitere Miniaturisierung elektrischer Komponenten möglich wird. Darüber
    hinaus könnte insbesondere die Verlässlichkeit der Module signifikant verbessert
    werden. Doch bisher wurde Kupferdraht trotz seiner überlegenen physikalischen
    Eigenschaften im Wesentlichen nur vereinzelt eingesetzt, da der Prozess deutlich
    empfindlicher auf Störgrößen reagiert. Um dennoch zuverlässige Kupferbondverbindungen
    in Leistungshalbleitermodulen herstellen zu können, wird in dieser Arbeit ein
    Verfahren vorgestellt, das die Herstellung von Ultraschall-Bondverbindungen mittels
    modellbasierter Mehrzieloptimierung realisiert. Dazu ist umfangreiches Prozesswissen
    in Form eines geeigneten Modells für den Bondprozess notwendig. Das vorgestellte
    Modell ist in der Lage, alle notwendigen Effekte und den Einfluss wesentlicher
    Prozessparameter detailliert abzubilden, sodass eine anschließende Mehrzieloptimierung
    zur Bestimmung der pareto-optimalen Betriebspunkte und zugehörigen Prozessparameter
    ermöglicht wird. Die dafür notwendigen Teilmodelle und Mehrzieloptimierungen werden
    dargestellt und validiert. Überdies wird ein Prototyp in Form einer modifizierten
    Bondmaschine inklusive einer Möglichkeit zur Verhaltensanpassung aufgebaut und
    getestet.
author:
- first_name: Andreas
  full_name: Unger, Andreas
  last_name: Unger
citation:
  ama: Unger A. <i>Modellbasierte Mehrzieloptimierung Zur Herstellung von Ultraschall-Drahtbondverbindungen
    in Leistungshalbleitermodulen</i>. Universität Paderborn; 2017.
  apa: Unger, A. (2017). <i>Modellbasierte Mehrzieloptimierung zur Herstellung von
    Ultraschall-Drahtbondverbindungen in Leistungshalbleitermodulen</i>. Universität
    Paderborn.
  bibtex: '@book{Unger_2017, title={Modellbasierte Mehrzieloptimierung zur Herstellung
    von Ultraschall-Drahtbondverbindungen in Leistungshalbleitermodulen}, publisher={Universität
    Paderborn}, author={Unger, Andreas}, year={2017} }'
  chicago: Unger, Andreas. <i>Modellbasierte Mehrzieloptimierung Zur Herstellung von
    Ultraschall-Drahtbondverbindungen in Leistungshalbleitermodulen</i>. Universität
    Paderborn, 2017.
  ieee: A. Unger, <i>Modellbasierte Mehrzieloptimierung zur Herstellung von Ultraschall-Drahtbondverbindungen
    in Leistungshalbleitermodulen</i>. Universität Paderborn, 2017.
  mla: Unger, Andreas. <i>Modellbasierte Mehrzieloptimierung Zur Herstellung von Ultraschall-Drahtbondverbindungen
    in Leistungshalbleitermodulen</i>. Universität Paderborn, 2017.
  short: A. Unger, Modellbasierte Mehrzieloptimierung Zur Herstellung von Ultraschall-Drahtbondverbindungen
    in Leistungshalbleitermodulen, Universität Paderborn, 2017.
date_created: 2019-05-27T09:54:33Z
date_updated: 2022-12-07T14:35:06Z
department:
- _id: '151'
extern: '1'
keyword:
- Drahtbondverbindungen
language:
- iso: eng
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  url: https://digital.ub.uni-paderborn.de/hs/id/2601656
oa: '1'
publisher: Universität Paderborn
status: public
title: Modellbasierte Mehrzieloptimierung zur Herstellung von Ultraschall-Drahtbondverbindungen
  in Leistungshalbleitermodulen
type: dissertation
user_id: '210'
year: '2017'
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