Hochvakuumbeschichtungsanlage

Das Forschungsgebiet des Lehrstuhls Angewandte Optik / Integrierte Quantenoptik liegt in der Erforschung von Quanten-Lichtzuständen, sowie deren Anwendungen in optisch basierten Quanten-Technologien, insbesondere für Quantenkommunikation und Quanten-Informationsverarbeitung. Schlüsselbauelemente sind integriert nichtlinear optische Wellenleiterstrukturen in LiNbO3 und KTP, die Endflächenbeschichtungen mit maßgeschneiderten Filtercharakteristiken erfordern für die verlustarme Extraktion der erwünschten Frequenzkonversionsprodukte bzw. für die Brillanzerhöhung parametrischer Fluoreszenz durch Resonanzüberhöhung. Die bisher eingesetzte, 23 Jahre alte Hochvakuumbeschichtungsanlage ist inzwischen sehr reparaturanfällig und den Anforderungen für solche komplexe dielektrische Beschichtungen nicht mehr gewachsen. Sie soll deshalb stillgelegt und durch eine neue Anlage für Ionen-unterstütztes reaktives Aufdampfen ersetzt werden. Simultanbetrieb beider Elektronenstrahlverdampfer soll die Herstellung von „Rugate“-Filtern mit Gradientenindexverlauf ermöglichen. Tiegelantrieb und programmierbare Strahlwobbelung sollen den Materialabtrag homogenisieren und so eine langzeitstabile Abdampfcharakteristik ermöglichen. Eine Reaktivgas-taugliche filamentlose HF-Ionenquelle mit geregelter Neutralisation soll durch langzeitstabilen Überlapp zwischen Dampfstrahl und Ionenstrahl die Reproduzierbarkeit bei den dispersiven Eigenschaften der Schichtmaterialien sowohl am Probenort als auch am Testglasort (indirektes optisches Monitoring) entscheidend verbessern.

DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte

Großgeräte Hochvakuumbeschichtungsanlage

Gerätegruppe 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen

Antragstellende Institution Universität Paderborn

Leiterin Professorin Dr. Christine Silberhorn