Mikrosystemtechnik auf Silizium
U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik Auf Silizium, Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden, 2012.
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Hilleringmann U. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag; 2012. doi:10.1007/978-3-322-92766-8
Hilleringmann, U. (2012). Mikrosystemtechnik auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8
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Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8.
U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik auf Silizium. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2012.
Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag, 2012, doi:10.1007/978-3-322-92766-8.
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