TY - JOUR AU - Kirchheim, Dennis AU - Wilski, Stefan AU - Jaritz, Montgomery AU - Mitschker, Felix AU - Oberberg, Moritz AU - Trieschmann, Jan AU - Banko, Lars AU - Brochhagen, Markus AU - Schreckenberg, Rabea AU - Hopmann, Christian AU - Böke, Marc AU - Benedikt, Jan AU - de los Arcos de Pedro, Maria Teresa AU - Grundmeier, Guido AU - Grochla, Dario AU - Ludwig, Alfred AU - Mussenbrock, Thomas AU - Brinkmann, Ralf Peter AU - Awakowicz, Peter AU - Dahlmann, Rainer ID - 22542 JF - Journal of Coatings Technology and Research SN - 1547-0091 TI - Improved homogeneity of plasma and coating properties using a lance matrix gas distribution in MW-PECVD ER -