{"doi":"10.1007/978-3-658-23444-7_5","department":[{"_id":"59"}],"publication_status":"published","status":"public","author":[{"id":"20179","first_name":"Ulrich","last_name":"Hilleringmann","full_name":"Hilleringmann, Ulrich"}],"title":"Ätztechnik","date_updated":"2023-03-21T10:10:52Z","user_id":"20179","type":"book_chapter","_id":"39428","place":"Wiesbaden","year":"2018","citation":{"bibtex":"@inbook{Hilleringmann_2018, place={Wiesbaden}, title={Ätztechnik}, DOI={<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5\">10.1007/978-3-658-23444-7_5</a>}, booktitle={Silizium-Halbleitertechnologie}, publisher={Springer Fachmedien Wiesbaden}, author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2018} }","ieee":"U. Hilleringmann, “Ätztechnik,” in <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.","short":"U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.","mla":"Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5\">10.1007/978-3-658-23444-7_5</a>.","chicago":"Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5\">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5</a>.","ama":"Hilleringmann U. Ätztechnik. In: <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5\">10.1007/978-3-658-23444-7_5</a>","apa":"Hilleringmann, U. (2018). Ätztechnik. In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5\">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5</a>"},"publication_identifier":{"isbn":["9783658234430","9783658234447"]},"language":[{"iso":"eng"}],"date_created":"2023-01-24T10:42:26Z","publisher":"Springer Fachmedien Wiesbaden","publication":"Silizium-Halbleitertechnologie"}