{"publisher":"Springer Fachmedien Wiesbaden","type":"book_chapter","publication_status":"published","user_id":"20179","status":"public","date_created":"2023-01-24T11:44:13Z","date_updated":"2023-03-22T10:10:23Z","publication":"Silizium-Halbleitertechnologie","title":"Lithografie","department":[{"_id":"59"}],"place":"Wiesbaden","year":"2014","author":[{"last_name":"Hilleringmann","full_name":"Hilleringmann, Ulrich","first_name":"Ulrich","id":"20179"}],"citation":{"ieee":"U. Hilleringmann, “Lithografie,” in <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014.","bibtex":"@inbook{Hilleringmann_2014, place={Wiesbaden}, title={Lithografie}, DOI={<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4\">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>}, booktitle={Silizium-Halbleitertechnologie}, publisher={Springer Fachmedien Wiesbaden}, author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2014} }","apa":"Hilleringmann, U. (2014). Lithografie. In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4\">https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>","mla":"Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014, doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4\">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>.","ama":"Hilleringmann U. Lithografie. In: <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2014. doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4\">10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>","chicago":"Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” In <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4\">https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4</a>.","short":"U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2014."},"_id":"39501","publication_identifier":{"isbn":["9783834813350","9783834820853"]},"language":[{"iso":"eng"}],"doi":"10.1007/978-3-8348-2085-3_4"}