{"type":"book","user_id":"20179","title":"Silizium-Halbleitertechnologie","date_updated":"2023-03-21T09:54:10Z","status":"public","alternative_title":["Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik"],"author":[{"full_name":"Hilleringmann, Ulrich","last_name":"Hilleringmann","first_name":"Ulrich","id":"20179"}],"publisher":"Springer Fachmedien Wiesbaden","date_created":"2023-01-25T09:19:59Z","publication_identifier":{"isbn":["9783658234430","9783658234447"]},"language":[{"iso":"eng"}],"citation":{"ama":"Hilleringmann U. <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7\">10.1007/978-3-658-23444-7</a>","apa":"Hilleringmann, U. (2018). <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7\">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</a>","ieee":"U. Hilleringmann, <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.","short":"U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.","chicago":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. <a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7\">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</a>.","mla":"Hilleringmann, Ulrich. <i>Silizium-Halbleitertechnologie</i>. Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7\">10.1007/978-3-658-23444-7</a>.","bibtex":"@book{Hilleringmann_2018, place={Wiesbaden}, title={Silizium-Halbleitertechnologie}, DOI={<a href=\"https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7\">10.1007/978-3-658-23444-7</a>}, publisher={Springer Fachmedien Wiesbaden}, author={Hilleringmann, Ulrich}, year={2018} }"},"place":"Wiesbaden","year":"2018","_id":"39898","department":[{"_id":"59"}],"doi":"10.1007/978-3-658-23444-7","publication_status":"published"}