Ätztechnik
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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Silizium-Halbleitertechnologie
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Hilleringmann U. Ätztechnik. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5
Hilleringmann, U. (2018). Ätztechnik. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5
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Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5.
U. Hilleringmann, “Ätztechnik,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5.
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