Lithografie
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2014.
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Silizium-Halbleitertechnologie
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Hilleringmann U. Lithografie. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2014. doi:10.1007/978-3-8348-2085-3_4
Hilleringmann, U. (2014). Lithografie. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4
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Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014. https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3_4.
U. Hilleringmann, “Lithografie,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014.
Hilleringmann, Ulrich. “Lithografie.” Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2014, doi:10.1007/978-3-8348-2085-3_4.
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