Oxidation des Siliziums
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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Silizium-Halbleitertechnologie
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Hilleringmann U. Oxidation des Siliziums. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3
Hilleringmann, U. (2018). Oxidation des Siliziums. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3
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Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.” In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3.
U. Hilleringmann, “Oxidation des Siliziums,” in Silizium-Halbleitertechnologie, Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.” Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3.
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