Silizium-Halbleitertechnologie
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
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Hilleringmann U. Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7
Hilleringmann, U. (2018). Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7.
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018.
Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7.
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