Patent DE10201003395: Anordnung und Verfahren zur mehrdimensionalen Messung von Schwingungen eines Objekts.

Es wird eine Anordnung zur mehrdimensionalen Messung von Schwingungen eines Objektes vorgeschlagen, umfassend ein Vibrometer und eine erste Ablenkeinheit, mittels welcher der Messstrahl des Vibrometers in wenigstens zwei erste Raumrichtungen ablenkbar ist, sowie wenigstens eine zweite Ablenkeinheit, mittels welcher der aus einer der wenigstens zwei ersten Raumrichtungen auf eine zweite Ablenkeinheit eintreffende Messstrahl derart ablenkbar ist, dass ein Messpunkt des Objekts aus einer ersten Raumrichtung und wenigstens einer zweiten Raumrichtung oder wenigstens zwei zweiten Raumrichtungen damit erfassbar ist. Bei dem zum Betrieb der Anordnung vorgesehenen Verfahren wird der Messstrahl eines Vibrometers in wenigstens zwei erste Raumrichtungen abgelenkt, woraufhin wenigstens ein Messstrahl einer ersten Raumrichtung ein zweites Mal derart abgelenkt wird, dass ein Messpunkt des Objekts aus einer ersten Raumrichtung und wenigstens einer zweiten Raumrichtung oder wenigstens zwei zweiten Raumrichtungen erfasst wird, insbesondere so dass die zu untersuchenden Bewegungskomponenten in den Messsignalen, welche entlang der ersten und zweiten Raumrichtungen gewonnen werden, enthalten sind. The arrangement has a first deflecting unit (3) for deflecting a measuring beam of a vibrometer (2) in spatial directions (4-6, 4-6). Second and third deflecting units (7, 8) deflect the beam arriving from one of the spatial directions such that a measuring point (9) of an object (1) is detectable with the beam from the spatial direction or the spatial directions. The first deflecting unit is designed as a scanning unit, where the measuring point is detected by the scanning unit. A measuring instrument measures focus quality and is connected to actuators for adjustment of the focus quality. An independent claim is also included for a method for multidimensional measurement of oscillations of an object.