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3 Publications
2018 | Book | LibreCat-ID: 39898
Hilleringmann U. Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7
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| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39428
Hilleringmann U. Ätztechnik. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5
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2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39429
Hilleringmann U. Oxidation des Siliziums. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden; 2018. doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3
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