Please note that LibreCat no longer supports Internet Explorer versions 8 or 9 (or earlier).
We recommend upgrading to the latest Internet Explorer, Google Chrome, or Firefox.
3 Publications
2018 | Book | LibreCat-ID: 39898
Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7.
LibreCat
| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39428
Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_5.
LibreCat
| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39429
Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.” Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018, doi:10.1007/978-3-658-23444-7_3.
LibreCat
| DOI