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3 Publications
2018 | Book | LibreCat-ID: 39898
Silizium-Halbleitertechnologie
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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| DOI
U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39428
Ätztechnik
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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| DOI
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39429
Oxidation des Siliziums
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.
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| DOI
U. Hilleringmann, in: Silizium-Halbleitertechnologie, Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden, 2018.