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3 Publications
2018 | Book | LibreCat-ID: 39898
Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7.
LibreCat
| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39428
Hilleringmann, Ulrich. “Ätztechnik.” In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5.
LibreCat
| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39429
Hilleringmann, Ulrich. “Oxidation Des Siliziums.” In Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden, 2018. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3.
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