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3 Publications
2018 | Book | LibreCat-ID: 39898
Hilleringmann, U. (2018). Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
LibreCat
| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39428
Hilleringmann, U. (2018). Ätztechnik. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_5
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| DOI
2018 | Book Chapter | LibreCat-ID: 39429
Hilleringmann, U. (2018). Oxidation des Siliziums. In Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Fachmedien Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_3
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